The development and applicationof the MEMS | Chinese Medical Equipment Journal;(6)2003. | WPRIM

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The development and applicationof the MEMS / 医疗卫生装备

Xing-Ju MENG; Mei-Sheng SHI.

Chinese Medical Equipment Journal ; (6)2003.

Artigo em Chinês | WPRIM | ID: wpr-684379

ABSTRACT

ABSTRACT

This paper introduces the development of the MEMS at home and abroad,besides the key technology,the application in medicine and military about the MEMS also expounded in detail.

micro-electro-mechanical system(MEMS); MEMS unit; micromachines

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Texto completo: DisponíveL Índice: WPRIM (Pacífico Ocidental) Idioma: Chinês Revista: Chinese Medical Equipment Journal Ano de publicação: 2003 Tipo de documento: Artigo

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