Detalles de la búsqueda
1.
High-Density Patterning of InGaZnO by CH4: a Comparative Study of RIE and Pulsed Plasma ALE.
ACS Appl Mater Interfaces
; 2022 Jul 19.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-35850517
2.
Dry-Etching Processes for High-Aspect-Ratio Features with Sub-10 nm Resolution High-χ Block Copolymers.
ACS Appl Mater Interfaces
; 13(41): 49184-49193, 2021 Oct 20.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34636239
3.
Lithographically Defined Cross-Linkable Top Coats for Nanomanufacturing with High-χ Block Copolymers.
ACS Appl Mater Interfaces
; 13(9): 11224-11236, 2021 Mar 10.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-33621463
Resultados
1 -
3
de 3
1
Próxima >
>>