Detalles de la búsqueda
1.
Computational proximity lithography with extreme ultraviolet radiation.
Opt Express
; 28(18): 27000-27012, 2020 Aug 31.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-32906962
2.
Characterisation of engineered defects in extreme ultraviolet mirror substrates using lab-scale extreme ultraviolet reflection ptychography.
Ultramicroscopy
; 249: 113720, 2023 Jul.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-37004492
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