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1.
Nanoscale grating characterization using EUV scatterometry and soft x-ray scattering with plasma and synchrotron radiation.
Appl Opt
; 62(1): 117-132, 2023 Jan 01.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-36606857
2.
Design of an efficient illuminator for partially coherent sources in the extreme ultraviolet.
Appl Opt
; 61(11): 3026-3033, 2022 Apr 10.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-35471276
3.
Characterization of nanoscale gratings by spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet with a stand-alone setup.
Opt Express
; 28(14): 20489-20502, 2020 Jul 06.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-32680107
4.
Computational proximity lithography with extreme ultraviolet radiation.
Opt Express
; 28(18): 27000-27012, 2020 Aug 31.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-32906962
5.
Extreme ultraviolet proximity lithography for fast, flexible and parallel fabrication of infrared antennas.
Opt Express
; 23(20): 25487-95, 2015 Oct 05.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-26480066
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