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1.
Theoretical evaluation of thermal decomposition of dichlorosilane for plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride: the important role of surface hydrogen.
Phys Chem Chem Phys
; 20(46): 29152-29158, 2018 Nov 28.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-30426994
2.
Radial spatiotemporal evolution of rf magnetic field and plasma current in a very-high-frequency plasma source over a wide range of plasma density and pressure.
Phys Rev E
; 104(2-2): 025207, 2021 Aug.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34525658
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