Detalles de la búsqueda
1.
Polymer link breakage of polyimide-film-surface using hydrolysis reaction accelerator for enhancing chemical-mechanical-planarization polishing-rate.
Sci Rep
; 12(1): 3366, 2022 Mar 01.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-35233019
2.
Super fine cerium hydroxide abrasives for SiO2 film chemical mechanical planarization performing scratch free.
Sci Rep
; 11(1): 17736, 2021 Sep 06.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34489499
3.
Scavenger with Protonated Phosphite Ions for Incredible Nanoscale ZrO2-Abrasive Dispersant Stability Enhancement and Related Tungsten-Film Surface Chemical-Mechanical Planarization.
Nanomaterials (Basel)
; 11(12)2021 Dec 04.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34947644
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