Detalles de la búsqueda
1.
Coherent Fourier scatterometry: a holistic tool for inspection of isolated particles or defects on gratings.
Appl Opt
; 62(29): 7589-7595, 2023 Oct 10.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-37855466
2.
Coherent Fourier scatterometry nanoparticle detection enhanced by synthetic optical holography.
Opt Lett
; 47(15): 3840-3843, 2022 Aug 01.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-35913328
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