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1.
The role of Ru passivation and doping on the barrier and seed layer properties of Ru-modified TaN for copper interconnects.
J Chem Phys
; 152(14): 144701, 2020 Apr 14.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-32295379
2.
Representing the potential-energy surface of protonated water clusters by high-dimensional neural network potentials.
Phys Chem Chem Phys
; 17(13): 8356-71, 2015 Apr 07.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-25436835
3.
Mechanism of Thermal Atomic Layer Etch of W Metal Using Sequential Oxidation and Chlorination: A First-Principles Study.
ACS Appl Mater Interfaces
; 12(32): 36670-36680, 2020 Aug 12.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-32666796
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