Detalles de la búsqueda
1.
Synthesis of pentameric chlorotin carboxylate clusters for high resolution EUV photoresists under small doses.
Nanoscale Adv
; 6(11): 2928-2944, 2024 May 29.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-38817434
2.
Novel hexameric tin carboxylate clusters as efficient negative-tone EUV photoresists: high resolution with well-defined patterns under low energy doses.
Nanoscale Adv
; 5(11): 3033-3043, 2023 May 30.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-37260503
3.
Highly hydroxylated hafnium clusters are accessible to high resolution EUV photoresists under small energy doses.
Nanoscale Adv
; 6(1): 197-208, 2023 Dec 19.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-38125600
4.
Embedded Micro-detectors for EUV Exposure Control in FinFET CMOS Technology.
Nanoscale Res Lett
; 17(1): 5, 2022 Jan 05.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34985604
5.
Detectors Array for In Situ Electron Beam Imaging by 16-nm FinFET CMOS Technology.
Nanoscale Res Lett
; 16(1): 93, 2021 May 25.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34032939
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