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1.
Cavity-BOX SOI: Advanced Silicon Substrate with Pre-Patterned BOX for Monolithic MEMS Fabrication.
Micromachines (Basel)
; 12(4)2021 Apr 08.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-33918068
2.
A Platform for Mechano(-Electrical) Characterization of Free-Standing Micron-Sized Structures and Interconnects.
Micromachines (Basel)
; 9(1)2018 Jan 18.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-30393314
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