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1.
Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers.
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Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-31636932
2.
Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration.
Micromachines (Basel)
; 9(4)2018 Apr 18.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-30424123
3.
A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections.
Nat Commun
; 6: 10078, 2015 Dec 11.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-26655557
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