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1.
Highly reflective Ru/Y multilayer mirrors for the spectral range of 9-11â nm.
Opt Express
; 30(11): 19332-19342, 2022 May 23.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-36221714
2.
Efficient high-order suppression system for a metrology beamline.
J Synchrotron Radiat
; 25(Pt 1): 100-107, 2018 Jan 01.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-29271758
3.
Influence of barrier interlayers on the performance of Mo/Be multilayer mirrors for next-generation EUV lithography.
Opt Express
; 26(26): 33718-33731, 2018 Dec 24.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-30650805
4.
Analysis of buried interfaces in multilayer mirrors using grazing incidence extreme ultraviolet reflectometry near resonance edges.
Appl Opt
; 54(35): 10351-8, 2015 Dec 10.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-26836858
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