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1.
In Situ Infrared Absorption Study of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride.
Langmuir
; 34(8): 2619-2629, 2018 02 27.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-29381069
2.
Density functional theory study on the full ALD process of silicon nitride thin film deposition via BDEAS or BTBAS and NH3.
Phys Chem Chem Phys
; 16(34): 18501-12, 2014 Sep 14.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-25072273
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