Detalles de la búsqueda
1.
Saturation profile based conformality analysis for atomic layer deposition: aluminum oxide in lateral high-aspect-ratio channels.
Phys Chem Chem Phys
; 22(40): 23107-23120, 2020 Oct 21.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-33025987
2.
Thermal conductivity of amorphous Al2O3/TiO2 nanolaminates deposited by atomic layer deposition.
Nanotechnology
; 27(44): 445704, 2016 Nov 04.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-27670821
3.
Microelectrode Array With Transparent ALD TiN Electrodes.
Front Neurosci
; 13: 226, 2019.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-30967754
4.
Low-Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SiO2 Using Carbon Dioxide.
Nanoscale Res Lett
; 14(1): 55, 2019 Feb 12.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-30747362
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