Detalles de la búsqueda
1.
Deep reactive ion etching of cylindrical nanopores in silicon for photonic crystals.
Nanotechnology
; 34(22)2023 Mar 16.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-36928122
2.
Method for Keyhole-Free High-Aspect-Ratio Trench Refill by LPCVD.
Micromachines (Basel)
; 13(11)2022 Nov 04.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-36363929
3.
Micromechanically tuned ring resonator in silicon on insulator.
Opt Lett
; 36(7): 1047-9, 2011 Apr 01.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-21478978
4.
Wafer-scale 3D shaping of high aspect ratio structures by multistep plasma etching and corner lithography.
Microsyst Nanoeng
; 6: 25, 2020.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-34567640
5.
Heavily-Doped Bulk Silicon Sidewall Electrodes Embedded between Free-Hanging Microfluidic Channels by Modified Surface Channel Technology.
Micromachines (Basel)
; 11(6)2020 May 31.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-32486348
6.
Nanoimprint lithography for nanophotonics in silicon.
Nano Lett
; 8(9): 2872-7, 2008 Sep.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-18698727
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