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Chem Commun (Camb) ; 51(86): 15692-5, 2015 Nov 07.
Artigo em Inglês | MEDLINE | ID: mdl-26365629

RESUMO

We demonstrate the impact of reducing agents for Chemical Vapor Deposition (CVD) and Atomic Layer Deposition (ALD) of WS2 from WF6 and H2S precursors. Nanocrystalline WS2 layers with a two-dimensional structure can be obtained at low deposition temperatures (300-450 °C) without using a template or anneal.

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