[Technical monitoring of air pollutants in production of integrated circuits. Monitoring strategy and results]. / Uber den messtechnischen Nachweis der Luftschadstoffemission bei der Fertigung integrierter Schaltkreise. Strategie der Messungen und Ergebnisse.
Z Gesamte Hyg
; 37(2): 58-63, 1991 Feb.
Article
in De
| MEDLINE
| ID: mdl-2031383
Search on Google
Collection:
01-internacional
Database:
MEDLINE
Main subject:
Air Pollutants, Occupational
/
Electronics
Type of study:
Etiology_studies
Limits:
Humans
Language:
De
Journal:
Z Gesamte Hyg
Year:
1991
Document type:
Article
Country of publication:
Germany