Experimental data and model simulations of beam spread in the environmental scanning electron microscope.

Wight, S A

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Experimental data and model simulations of beam spread in the environmental scanning electron microscope.

Wight, S A.

Afiliación

Wight SA; Surface and Microanalysis Science Division, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland 20899-8371, USA. scott.wight@nist.gov

Scanning ; 23(5): 320-7, 2001.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-11587325

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Prognostic_studies Idioma: En Revista: Scanning Año: 2001 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos

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