Aberration analysis in aerial images formed by lithographic lenses.
Appl Opt
; 31(13): 2284-90, 1992 May 01.
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| ID: mdl-20720892
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
1992
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
Estados Unidos