Deep sub micrometer imaging of defects in copper pillars by X-ray tomography in a SEM.
Micron
; 58: 1-8, 2014 Mar.
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| MEDLINE
| ID: mdl-24316374
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Micron
Asunto de la revista:
DIAGNOSTICO POR IMAGEM
Año:
2014
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
Reino Unido