Parallelization of thermochemical nanolithography. | Nanoscale;6(3): 1299-304, 2014. | MEDLINE

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Parallelization of thermochemical nanolithography.

Carroll, Keith M; Lu, Xi; Kim, Suenne; Gao, Yang; Kim, Hoe-Joon; Somnath, Suhas; Polloni, Laura; Sordan, Roman; King, William P; Curtis, Jennifer E; Riedo, Elisa.

Afiliación

Carroll KM; School of Physics, Georgia Institute of Technology, 837 State Street, Atlanta, Georgia 30332-0430, USA. jennifer.curtis@physics.gatech.edu riedo@gatech.edu.

Nanoscale ; 6(3): 1299-304, 2014.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24337109

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanoscale Año: 2014 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Reino Unido

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