Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical sensors.

Baudet, E; Sergent, M; Nemec, P; Cardinaud, C; Rinnert, E; Michel, K; Jouany, L; Bureau, B; Nazabal, V

Baudet, E; Sergent, M; Nemec, P; Cardinaud, C; Rinnert, E; Michel, K; Jouany, L; Bureau, B; Nazabal, V.

Afiliación

Baudet E; Institut des Sciences Chimiques de Rennes, UMR-CNRS 6226, Université de Rennes 1, 35042, Rennes, France.
Sergent M; Aix Marseille Université, LISA EA4672, Campus scientifique de Saint Jérôme, 13397, Marseille, France.
Nemec P; Department of Graphic Arts and Photophysics, Faculty of Chemical Technology, University of Pardubice, Studentska 573, 53210, Pardubice, Czech Republic.
Cardinaud C; Institut des matériaux Jean Rouxel (IMN) UMR 6502, Université de Nantes, CNRS, 44322, Nantes Cedex 3, France.
Rinnert E; IFREMER, Laboratoire Détection, Capteurs et Mesures, Dpt. Recherches et Développements Technologiques, 29280, Plouzané, France.
Michel K; BRGM, Direction Eau, Environnement et Ecotechnologies, Unité Bio-Géochimie environnementale et qualité de l'Eau, 45060, Orléans, France.
Jouany L; Institut des Sciences Chimiques de Rennes, UMR-CNRS 6226, Université de Rennes 1, 35042, Rennes, France.
Bureau B; Institut des Sciences Chimiques de Rennes, UMR-CNRS 6226, Université de Rennes 1, 35042, Rennes, France.
Nazabal V; Institut des Sciences Chimiques de Rennes, UMR-CNRS 6226, Université de Rennes 1, 35042, Rennes, France. virginie.nazabal@univ-rennes1.fr.

Sci Rep ; 7(1): 3500, 2017 06 14.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-28615650

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Sci Rep Año: 2017 Tipo del documento: Article País de afiliación: Francia Pais de publicación: Reino Unido

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