Electromagnetic analysis for optical coherence tomography based through silicon vias metrology. | Appl Opt;58(27): 7472-7488, 2019 Sep 20. | MEDLINE

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Electromagnetic analysis for optical coherence tomography based through silicon vias metrology.

Iff, W A; Hugonin, J-P; Sauvan, C; Besbes, M; Chavel, P; Vienne, G; Milord, L; Alliata, D; Herth, E; Coste, P; Bosseboeuf, A.

Appl Opt ; 58(27): 7472-7488, 2019 Sep 20.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-31674397

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2019 Tipo del documento: Article

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