Effects of the Ion to Growth Flux Ratio on the Constitution and Mechanical Properties of Cr1-x-Alx-N Thin Films.

Banko, Lars; Ries, Stefan; Grochla, Dario; Arghavani, Mostafa; Salomon, Steffen; Pfetzing-Micklich, Janine; Kostka, Aleksander; Rogalla, Detlef; Schulze, Julian; Awakowicz, Peter; Ludwig, Alfred

Effects of the Ion to Growth Flux Ratio on the Constitution and Mechanical Properties of Cr_1-x-Al_x-N Thin Films.

Banko, Lars; Ries, Stefan; Grochla, Dario; Arghavani, Mostafa; Salomon, Steffen; Pfetzing-Micklich, Janine; Kostka, Aleksander; Rogalla, Detlef; Schulze, Julian; Awakowicz, Peter; Ludwig, Alfred.

Afiliación

Arghavani M; Surface Engineering Institute , RWTH Aachen University , Kackertstrasse 15 , 52072 Aachen , Germany.
Rogalla D; RUBION , Ruhr-Universität Bochum , 44801 Bochum , Germany.

ACS Comb Sci ; 21(12): 782-793, 2019 12 09.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-31689080

Asunto(s)

Aluminio/química; Cromo/química; Nitrógeno/química; Técnicas Químicas Combinatorias; Ensayo de Materiales; Estrés Mecánico

Palabras clave

HiPIMS; hard coatings; mechanical properties; microstructure; plasma diagnostics; transition metal nitrides

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Cromo / Aluminio / Nitrógeno Idioma: En Revista: ACS Comb Sci Año: 2019 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos

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