Speed enhancement of dynamic spectroscopic ellipsometry by using direct spectral phase extraction method. | Appl Opt;60(35): 10867-10872, 2021 Dec 10. | MEDLINE

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Speed enhancement of dynamic spectroscopic ellipsometry by using direct spectral phase extraction method.

Dembele, Vamara; Kheiryzadehkhanghah, Saeid; Hwang, Gukhyeon; Kim, Daesuk.

Appl Opt ; 60(35): 10867-10872, 2021 Dec 10.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-35200848

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2021 Tipo del documento: Article

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