Speed enhancement of dynamic spectroscopic ellipsometry by using direct spectral phase extraction method.
Appl Opt
; 60(35): 10867-10872, 2021 Dec 10.
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| ID: mdl-35200848
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
2021
Tipo del documento:
Article