Fast on-wafer electrical, mechanical, and electromechanical characterization of piezoresistive cantilever force sensors. | Rev Sci Instrum;83(1): 015002, 2012 Jan. | MEDLINE

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Fast on-wafer electrical, mechanical, and electromechanical characterization of piezoresistive cantilever force sensors.

Tosolini, G; Villanueva, L G; Perez-Murano, F; Bausells, J.

Afiliação

Tosolini G; Instituto de Microelectrónica de Barcelona IMB-CNM (CSIC), Bellaterra, Spain.

Rev Sci Instrum ; 83(1): 015002, 2012 Jan.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-22299978

Assuntos

Eletricidade; Fenômenos Mecânicos; Microscopia de Força Atômica/instrumentação; Fatores de Tempo

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Microscopia de Força Atômica / Eletricidade / Fenômenos Mecânicos Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article País de afiliação: Espanha País de publicação: Estados Unidos

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