Formation of hydrogenated amorphous carbon films of controlled hardness from a methane plasma.
Phys Rev B Condens Matter
; 41(5): 3200-3210, 1990 Feb 15.
Article
em En
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| ID: mdl-9994098
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Idioma:
En
Revista:
Phys Rev B Condens Matter
Ano de publicação:
1990
Tipo de documento:
Article
País de publicação:
Estados Unidos